高純度氣體供應對許多工業(yè)和研究應用至關重要。氣體污染可能對產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量產(chǎn)生毀滅性影響。質(zhì)譜法為檢測純氣流中的污染物提供了無與倫比的多功能性，對大多數(shù)物種的檢測能力都低于PPM水平。

        應用包括：

            衛(wèi)星制造吹掃氣體分析。

            熱等靜壓工藝（HIP）供氣中污染物的氣體分析

            閉式循環(huán)制冷壓縮機氣體中雜質(zhì)的分析

            鋼廠還原過程中的高純氫分析

            半導體工藝氣體供應

        Hiden的一系列多氣流進氣口可用于監(jiān)測4或8股氣流。Hiden的Hydra系統(tǒng)可以監(jiān)測多達80股氣流。