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Hiden PSM是一臺結合質量和能量分析的儀器,用于分析等離子體過程中正、負離子、中性粒子以及自由基的種類和能量分布。
等離子體質量能量分析質譜儀把扇區場能量分析儀和高性能的四極質量過濾器結合在一起作為等離子表征的儀器。等離子體質量能量分析質譜儀可以獲得中性粒子、自由基、離子(正、負)的質譜和能量分布。
品牌:Hiden 型號:TOF-qSIMS 制造商:Hiden Analytical Ltd 產地: 英國