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型號：ESPion

高級朗繆爾探針

描述：主要用于射頻等離子體/直流放電等離子體/激光等離子體和微波等離子體的電子密度、離子密度、等離子體電位和電子溫度等狀態(tài)參數(shù)的測量。

  • 廠商性質(zhì)

    進(jìn)口

  • 更新時間

    2020-11-23

  • 訪問量

    1557
詳細(xì)介紹


ESPion高級朗繆爾探針（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、精確地進(jìn)行等離子體診斷，是最先進(jìn)可靠的Langmuir探針。

 

·Hiden在被動射頻補(bǔ)償方面處于領(lǐng)先地位，在所有的商業(yè)化探針中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 參考探針補(bǔ)償用于抵制較低頻率影響，例如等離子體電位漂移(如，反應(yīng)室內(nèi)腔陽極氧化所致) 或噪音(如，供電源引起)
· 高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應(yīng)器鏈，使用者可調(diào)諧至其他頻率 


 

 

·獲得數(shù)據(jù)速度：     15scans/s，

·通過D-O-E-界面可以自動/半自動/手動分析
·300、600、915mm 自動線性驅(qū)動器可選，互鎖隔離閥，

·90°探針，組合式線性－旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器可選
·ESPion 是所有商業(yè)化探針中最快速的脈沖等離子體探針，

·ESPsoft 包括所有必需的標(biāo)準(zhǔn)脈沖選通電路

·自清洗循環(huán)，防止探針尖端污染
· 經(jīng)由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制


ESPION Series - Advanced Langmuir Probes for Plasma Diagnostics (311 KB)

Mass Spectrometers for Thin Films, Plasma and Surface Engineering (1.1 MB)

AP0067 - O- Density Measurements in the Pulsed-DC Reactive Magnetron Sputtering of Titanium (215 KB)

AP0121 - Hiden ESPion Plasma Probe Measurements on a Hollow-Cathode Based Large-Volume Plasma Source (277 KB)

AP0142 - Ion Density Increase in High Power Twin-cathode Magnetron System (247 KB)

Energy/Mass Spectrometer Analyser and Langmuir Probe Diagnostics for HIPIMS (1.88 MB)

Mass Spectrometry in HiPIMS Plasmas - COST Workshop 2012 (3.2 MB)

Plasma Diagnostics in High Power Impulse Magnetron Sputtering Discharges - TIRI JSFS 2012 Tokyo YAG (3.52 MB)

 

 
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