型號：PSM

PSM等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

描述：Hiden PSM是一臺結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器，用于分析等離子體過程中正、負(fù)離子、中性粒子以及自由基的種類和能量分布。

詳細(xì)介紹

PSM是一臺差式泵質(zhì)譜儀（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。

·差式泵歧管，通過法蘭與過程反應(yīng)室連接

·電子附著選件，具有可調(diào)諧的離子源，用于表觀電勢MS
·Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
·信號選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布VS時間
·標(biāo)準(zhǔn)分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 離子分析可選

·靈敏度高 / 極穩(wěn)定的3級過濾四極桿

·質(zhì)量數(shù)范圍： 0 ~ 2500amu

·脈沖離子計數(shù)檢測器，7個數(shù)量級的動態(tài)范圍

·能量分析選件，標(biāo)準(zhǔn) ±100eV（1000eV可選）

·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選，高壓操作可選
·通過RS232、RS485或Ethernet LAN ，軟件MASsoft 控制

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