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EPIC離子/分子分析質譜儀(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)是帶脈沖離子計數和四級桿偏壓控制的三級過濾四極質譜儀,用于高精密科學分析,過程研究以及中性粒子、自由基、正負離子的UHV分析。 EPIC離子/分子分析質譜儀可增加能量過濾器、Bessel Box能量分析器或45°扇形能量分析器,升級至Hiden的Plasma/ SIMS系列EQP,EQS,PSM 和Maxim。
·6、9、12 mm 直徑的四極桿可選 ·±100 eV離子能量分布,1000 eV可選 ·離子源控制,以實現軟離子化及表觀電勢質譜 ·脈沖離子計數器,連續7個數量級動態范圍,Faraday 選項為5x1010 ·一級過濾處增加射頻,增強抗污染物能力 ·信號選通分辨率0.1μs,用于能量、質量分布隨時間變化或TOF研究中 ·程序升溫脫附時,溫度數值同步顯示 ·標配UHV罩,液氮冷卻罩可選 ·MASsoft專業軟件控制 ·可升級至Plasma/ SIMS 配置
·質量數范圍: 1~300 amu(標準配置) 500、1000、2500 amu(選配) ·測量速度: 500 points/s ·分辨率: 0.1% Valley、1% Valley ·動態范圍: 107 ·最低檢測分壓: 5 X 10-15 mbar ,1X10-16 mbar ·離子能量: ±100eV(標準配置) ±1000eV(選配) ·信號選通分辨率:0.1μs ·穩定性: 24h以上,峰高變化小于±0.5% 3F Series Mass Spectrometers (0.68MB) Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB) |